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產(chǎn)品中心HORIBA高溫磷酸/化學(xué)藥液濃度計CS-620F高溫磷酸濃度計
產(chǎn)品型號：CS-620F
更新時間：2025-11-25
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：89
服務(wù)熱線400-892-6117 021-31268583 021-57631797
產(chǎn)品分類
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HORIBA/堀場CS-620F光纖型高溫磷酸濃度計產(chǎn)品詳情：
在3D NAND制程中，沉積幾十層二氧化硅和氮化硅，并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層。在該制程中，通過控制化學(xué)藥液的濃度和溫度，可以獲得期望的刻蝕速率。成熟型號很難測量高溫化學(xué)藥液，但CS-620F能夠在高達(dá)170℃的高溫下進(jìn)行測量。使用吸收光譜進(jìn)行連續(xù)測量，與其他方法相比，需要的維護(hù)和耗材更少。
產(chǎn)品特征
● 可測量達(dá)92%的高濃度磷酸。
● 無需冷卻機(jī)制和冷卻時間。
● 無需冷卻循環(huán)管路中的高溫磷酸（140 至 170℃），可直接測量。
● 樣品使用PFA接觸，以降低污染風(fēng)險。
● 采用每半年一次的背景校正周期，有助于顯著減少機(jī)臺停機(jī)時間。
● 每3秒更新一次測量數(shù)據(jù)，有助于更快速使用濃度反饋進(jìn)行控制。
穩(wěn)定性
? 測量結(jié)果樣品（實際藥液）測量1小時，展示出良好的穩(wěn)定性。
? 測量條件
測量周期：每3秒 測量時間：1 小時 移動平均數(shù)：16 次。
樣品濃度（初始樣品濃度）H3PO4：92.2% H2O: 7.8% 樣品溫度：141°C。
HORIBA/堀場CS-620F光纖型高溫磷酸濃度計產(chǎn)品參數(shù)：
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光纖型化學(xué)藥液濃度計 CS-600F
CS-600F提供適合生產(chǎn)的更高級功能，如在各種應(yīng)用中對高溫化學(xué)藥液進(jìn)行在線測量的能力，減少停機(jī)時間的穩(wěn)定運(yùn)行，以及提高空間生產(chǎn)率的緊湊尺寸，以滿足優(yōu)良半導(dǎo)體濕法制程所需的準(zhǔn)確化學(xué)藥液濃度管理。
尺寸更小，布局更靈活
CS-600F 濃度計尺寸緊湊，與成熟型號（CS-100F1 系列）相比，高度降低 36%，體積減少 40%，樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。光源單元和濃度計主機(jī)可以遠(yuǎn)程單獨(dú)安裝，支持根據(jù)化學(xué)藥液單元和清洗設(shè)備的位置靈活安裝。
高溫化學(xué)溶液（20 至 80℃）的高穩(wěn)定性在線測量
新的光學(xué)系統(tǒng)和改進(jìn)的處理算法支持在線測量高溫化學(xué)藥液，這是優(yōu)良濕法制程的關(guān)鍵一步。這消除了冷卻化學(xué)樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F穩(wěn)定性高，實現(xiàn)了更有效和準(zhǔn)確的化學(xué)藥液管理。
背景校正頻率顯著降低
與成熟型號（CS-100F1系列）相比，定期校正頻率顯著降低，這反過來又顯著減少了機(jī)臺停機(jī)時間，有助于提高產(chǎn)量。
單臺濃度計可測量多達(dá)六種化學(xué)藥液（藥液種類或濃度范圍）
單臺濃度計可測量多達(dá)六種化學(xué)藥液（藥液種類或濃度范圍）。可自由指定藥液類型和濃度范圍，CS-600F 保證滿足各種檢測要求。
可輸出多達(dá)六種組分的測量值（串行輸出）
成熟型號（CS-100F1 系列）可輸出四種組分的測量值（串行輸出）。CS-600F新型號能以串行輸出方式輸出多達(dá)六種組分的測量值。CS-600F型號模擬輸出四種組分，而CS-100F1型號為兩種。
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